近紅外光電系統(tǒng)檢測晶片瑕疵
2021-11-15(1710)次瀏覽
在可見光下無法捕捉到硅片表面的圖像。連接一臺近紅外顯微鏡和一個近紅外銦鎵砷攝像機...
在可見光下無法捕捉到硅片表面的圖像。連接一臺近蕪湖紅外顯微鏡和一個近紅外銦鎵砷攝像機則可以打破這個限制，由此可以組成一個觀測系統(tǒng)來檢測晶片的瑕疵。
銦鎵砷探測器對近紅外區(qū)和波帶范圍為900nm到1700nm的短波紅外區(qū)的能量尤為敏感。這一特性使得它在檢測特定情況下的光電效應時功效卓越。例如，銦鎵砷探測器可以探測到集成電路中晶體管故障時發(fā)出的微弱光信號，從而輕易地發(fā)現(xiàn)故障。
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